Tiêu chuẩn Wafer Hiệu chuẩn được sử dụng để xác minh và kiểm soát hai thông số kỹ thuật của một công cụ SSIS: độ chính xác về kích thước ở các cỡ hạt cụ thể và tính đồng nhất của quét trên wafer trong mỗi lần quét.

Hiển thị cả 3 kết quả

Dịch "